Encyclopedia of Plasma Technologyсборник
Статьи, опубликованные в сборнике
-
-
2017
Inductively Coupled Plasma Sputtering: Structure of IV-VI Semiconductors
-
Zimin S.,
Gorlachev E.,
Amirov I.
-
в сборнике Encyclopedia of Plasma Technology, издательство CRC PRESS-TAYLOR & FRANCIS GROUP (6000 BROKEN SOUND PARKWAY NW,STE 300, BOCA RATON, USA, FL, 33487-2742), том 1, с. 679-691