|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ФИЦ ПХФ и МХ РАН |
||
Некоторые электрофизические свойства поликристаллических пленок алмазадоклад на конференции
- Авторы: Квасков В.Б., Буховец В.Л., Толмачёв Ю.Н., Федосеев Д.В.
- Международная Конференция : Алмазоподобные пленки углерода. Межгосударственная конференция стран СНГ. 6 - 9 июня 1994 г.
- Даты проведения конференции: 6-9 июня 1994
- Дата доклада: 8 июня 1994
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Квасков В.Б.
- Место проведения: г. Харьков, Украина
-
Аннотация доклада:
Разработана методика осаждения наноразмерных (поликластерных)алмазных плёнок на металлы в диапазоне температур 150-300 градусов Цельсия. Основной особенностью этого метода является применение двух высоковольтных электрических разрядов. Разряд частотой 50 Гц активирует газовую среду, тогда как разряд частотой 50-200 кГц управляет потоком ионов на поверхность осаждения. Скорость осаждения - до 10 мкм / час, удельное сопротивление плёнок 10^4 - 10^10 Ом*см. в зависимости от температуры осаждения. Согласно структурным исследованиям, пленки состоят из алмазных частиц размером до 10 Ангстрем, погруженных в аморфную матрицу. Свойства плёнок определяется степенью разупорядоченности их структуры, что создаёт дополнительные степени свободы в электронной подсистеме, например, эффект переключения.
- Добавил в систему: Буховец Валентин Леонидович