ИСТИНА

Стандарты по высокоточному оцениванию параметров объектов нужны дистанционных исследованиях при анализе космических изображений и в литографическом оборудовании для производства памяти и процессоров. Для этого в Математическом Обеспечении Измерительно Вычислительных Систем (МО ИВС) предлагаем использовать высокоточные методы Градиентной Морфологии (ГМ). На физическом факультете МГУ создан метод по компенсации АФ искажений ИВС, который мы назвали Математический Микроскоп (ММ). Метод ММ апробирован на данных в Астрономии и на данных с Электронных и Атомно-Силовых микроскопов. Величины получаемых сверх разрешений SR в зависимости от точности исходных данных для ММ находятся в пределах от 30-50 до 200-2000. Выводы: метод ММ пока не применялся для получения SR изображений в дистанционных исследованиях с ИВС в литографии. Будущие за новыми ИВС в 0.2-1нм Литографии с методами ГМ и ММ.