![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ФИЦ ПХФ и МХ РАН |
||
В работе рассматриваются дисперсионные силы (ДС) в диапазоне расстояний 10 – 100 нм, для которого важно запаздывание электромагнитного сигнала между телами. Эти силы индуцируют спонтанное залипание элементов МЭМС и выход устройств их строя. Стандартная теория обобщается на случай нелокальных сред, что позволяет объяснить ряд парадоксов связанных с термическим вкладом в ДС. В широком диапазоне длин волн исследованы диэлектрические функции (ДФ) ряда материалов. Детально исследованы ДФ и шероховатость пленок Au. Предложен метод, позволяющий вычислить силу между шероховатыми телами, когда расстояние между телами сравнимо с амплитудой шероховатости. Показано, что ДС сосредоточенные в узкой области пространтва способны проявлять себя вдали от области приложения силы. Предложен способ измерения ДС между шероховатыми телами, который не теряет устойчивости на малых расстояниях и позволяет провести измерения силы даже между телами находящимися в контакте. Результаты работы могут быть использованы для контроля ДС и нежелательной адгезии между элементами МЭМС.