|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ФИЦ ПХФ и МХ РАН |
||
Способ определения состояния поверхности полупроводников и диэлектриковпатент
- Авторы: Беспалов В.А., Киселев В.Ф., Левшин Л.В., Плотников Г.С., Салецкий А.М.
- Номер: 1400260
- Дата публикации патента: 1 февраля 1988 г.
- Добавил в систему: Салецкий Александр Михайлович