ИСТИНА

Изобретение относится к способу получения электропроводящего покрытия на металлической или неметаллической подложке с использованием механической вибрации. Осуществляют подачу рабочего газа в вакуумную камеру с подложкой и ионно-плазменное напыление проводящего покрытия на подложку магнетронным распылением. Упомянутую подложку закрепляют на штоке виброгенератора, приводимого в движение с помощью постоянного магнита, колеблющегося под действием переменного тока, проходящего через катушку, к которой присоединены мембраны, для обеспечения подложке колебаний в своей плоскости с образованием на поверхности подложки дефекта пленки в виде выступа атомов без обеспечения возможности закрепления на нем последующих ионов напыляемого покрытия. Упомянутые ионы закрепляются в образовавшейся впадине для обеспечения однородности и равномерности покрытия. Частота вибрации подложки является такой же, как частота переменного тока. Для создания упорядоченного потока ионов напыляемого покрытия, движущихся к вибрирующей подложке, между мишенью и подложкой устанавливают кольцо-катушку статора асинхронного двигателя, внутри которой напыляемые ионы отклоняются магнитным полем и начинают двигаться по спирали или винтовой линии. Обеспечивается получение сплошного однородного равномерного проводящего покрытия при минимизации энергии, затрачиваемой на промышленную реализацию заявляемого способа. 2 з.п. ф-лы, 5 ил.