ИСТИНА

Спосіб багатопараметричної структурної діагностики монокристалів з декількома типами дефектів, який полягає в тому, що досліджуваний монокристал опромінюють пучком рентгенівських променів вибраної довжини хвилі і відомої інтенсивності , здійснюють в ньому брегг-дифракцію на системі площин (hkl), вимірюють залежність дифрагованої інтенсивності в усьому кутовому діапазоні кривої дифракційного відбиття, де - кут відхилення зразка від дифракційного максимуму, визначають коефіцієнт дифракційного відбиття , який складається з суми: , де і - кутові залежності відповідно когерентної і дифузної компонент відбивної здатності монокристала, який відрізняється тим, що брегг-дифракцію здійснюють в інтервалі кутів , і визначають за відповідними виразами і , де - характеристики розміру і форми дефектів, - концентрація дефектів, - тип дефектів, для коректування одержаних значень параметрів дефектів здійснюють лауе-дифракцію на системі площин (hkl), та при рівних значеннях параметрів дефектів та , одержаних за Бреггом і за Лауе, здійснюють контроль, а при різних значеннях параметрів дефектів коректують значення параметрів дефектів завдяки тому, що додатково до визначають повну інтегральну відбивну здатність (ПІВЗ) відбиття , яка складається з суми: , де і - відповідно когерентна і дифузна компоненти ПІВЗ монокристала, характеристики розміру і форми і концентрацію дефектів різних типів, що присутні у монокристалі, визначають за повним набором незалежних вимірів у різних умовах дифракції, які змінюють і контролюють внесок дифузної компоненти, завдяки чому здійснюють вибір технологічних режимів обробки монокристалів.