Физические свойства геликонного источника малой мощности при его работе на высокочастотном разряде с емкостной компонентойстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 20 июня 2024 г.