|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ФИЦ ПХФ и МХ РАН |
||
Surface characteristics of parylene-C films in an inductively coupled O2/CF4 gas plasmaстатья
Статья опубликована в высокорейтинговом журнале
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus- Авторы: Ham Yong-Hyun, Alexandrovich Shutov Dmitriy, Kyu-Ha Baek, Lee-Mi Do, Kwangsoo Kim, Chi-Woo Lee, Kwang-Ho Kwon
- Журнал: Thin Solid Films
- Том: 518
- Номер: 22
- Год издания: 2010
- Издательство: Elsevier Sequoia
- Местоположение издательства: Switzerland
- Первая страница: 6378
- Последняя страница: 6381
- DOI: 10.1016/j.tsf.2010.03.138
- Добавил в систему: Шутов Дмитрий Александрович