Частотная зависимость энергии ионов на выходе из емкостного ВЧ-разряда, помещенного во внешнее магнитное поле с преимущественной радиальной составляющей

Авторы: Швыдкий Г.В., Вавилин К.В., Задириев И.И., Кралькина Е.А., Никонов А.М.
Журнал: Прикладная физика
Том: 1
Номер: 4
Год издания: 2024
Издательство: [б.и.]
Местоположение издательства: М.
Первая страница: 14
Последняя страница: 19
Номер статьи: 537.525
DOI: 10.51368/1996-0948-2024-4-14-19
Аннотация: Исследована частотная зависимость энергии и тока ионов на выходе из ВЧ источникаплазмы, имеющего геометрию СПД. Показано, что энергия ионов максимальна приработе на частоте 6,8 МГц. Увеличение рабочей частоты сопровождается падениемэнергии ионов. Ток ионов немонотонно зависит от частоты. При частотах менее27,12 МГц рост энергии ионов сопровождается падением тока, а падение энергииростом тока. Увеличение частоты до 27,12 МГц не приводит к росту ионного тока.
Добавил в систему: Швыдкий Георгий Вячеславович

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИСТИНА ФИЦ ПХФ и МХ РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА