|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ФИЦ ПХФ и МХ РАН |
||
УСТРОЙСТВО МИКРОМАРКИРОВКИ ОБРАЗЦОВ НА ОСНОВЕ ГРАВИРОВАЛЬНОГО СТАНКАстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
- Авторы: Шелковников Е.Ю., Гуляев П.В., Ермолин К.С.
- Журнал: Приборы и техника эксперимента
- Номер: 5
- Год издания: 2024
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- DOI: 10.31857/S0032816224050206
- Аннотация: Работа относится к области контактной силовой нано- и микролитографии, применяемой для маркировки образцови разметки участков поверхности, исследуемых с помощью микроскопов высокого разрешения. Описано устройствомаркиратора, построенного на базе серийного гравировального станка Generic-CNC2418 с числовым программнымуправлением в G-кодах и использующего вольфрамовую иглу в качестве рабочего инструмента. Описан процессуправления приводами станка для формирования маркировки, основанный на контроле контактирования иглы споверхностью посредством оптического микроскопа. Маркировка, получаемая с помощью таких игл, представляетсобой рисунок отдельных отпечатков (паттерн) иглы. Приводы маркиратора обеспечивают точностьпозиционирования 10 мкм. Поперечный размер получаемых отпечатков маркировки при этом составляет 10–15мкм. Маркиратор рекомендуется использовать для поверхностей с шероховатостью Ra не более 0.1 мкм и твердостьюпо Моосу не более 7.5.
- Добавил в систему: Гуляев Павел Валентинович