–
Патенты
-
- 2017 Method of static scaling of image in holographic lithography
- Авторы: Rakhovsky V., Borisov M., Shamaev A., Chelyubeev D., Gavrikov A., Chernik V., Mikheev P., Rakhovsky V.
- #9,557,711, 31 января
-
- 2015 Method of synthesis and formation of digital Hologram for use in microlithography
- Авторы: Rakhovsky V., Borisov M., Shamaev A.S., Chelybeev D., Gavrikov A., Mikheev P.
- #US 20150185695 A1, 5 июля
-
- 2015 Method for synthesis and formation of a digital hologram for use in microlithography
- Авторы: Rakhovsky Vadim, Borisov Mikhail, Shamaev Aleksey, Chelyubeev Dmitry, Gavrikov Aleksandr, Chernik Vitaly, Mikheev Peter
- #US 9310768 B2 , 2 июля