–
Тезисы докладов
-
- 1988 The peculiarities of electron concentration dependence on pressure and gas sort in transversal HF discharge plasma
- Kuzovnikov A.A., Malyarov A.V., Savinov V.P., Yakunin V.G.
- в сборнике Proceedings of the IX Europhysics sectional conference on the atomic and molecular physics of ionized gases, место издания Lisbon, Portugalia, тезисы, с. 203-204
Доклады на научных конференциях
-
- 1991 Physical aspects of Dry plasma etching of photoresistin barrel reactors (Стендовый)
- Авторы: Iermolova N.A., Malyarov A.V., Riaby V.A., Savinov V.P., Sporikhin A.A., Yakunin V.G.
- XX ICPIG, 1, 167, Piza, Italia, Италия, 15-18 сентября 1991
-
- 1988 Changing of oxygen plasma parameters in RF discharge over photoresist surfase (Стендовый)
- Авторы: Malyarov A.V., Gordeev A.I., Riaby V.A., Savinov V.P., Yakunin V.G.
- IX Europ. Sect. Conf. Atom. Molecul. Phys. Ionised Gases, Lisbon, Португалия, 20-22 июля 1988