–
Патенты
-
- 1996 Способ получения бинарного химического соединения на твердой поверхности.
- Авторы: Жиляков Л.А., Кириллин А.В., Костановский А.В.
- #2057817, 10 апреля
-
- 1993 Способ получения тонких пленок нитрида алюминия.
- Авторы: Жиляков Л.А., Кириллин А.В., Костановский А.В.
- #А.С. № 1716813, 30 декабря
-
- 1993 Способ получения тонких пленок нитрида алюминия.
- Авторы: Жиляков Л.А., Кириллин А.В., Костановский А.В.
- #А.С. № 1415804, 30 декабря