–
Научные отчёты
-
- 2011 РАЗРАБОТКА БАЗОВОЙ ТЕХНОЛОГИИ ФОРМИРОВАНИЯ МНОГОСЛОЙНОЙ РАЗВОДКИ (7-8 УРОВНЕЙ) СВЕРХБОЛЬШИХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ НА ОСНОВЕ AL И CU
- Авторы: Красников Г.Я., Гущин О.П., Валеев А.С., Данила А.В., Гвоздев В.А., Кузнецов П.И., Смирнов Е.А., Чамов А.А., Данилкин Е.В., Хрусталёв В.А., Морозов Е.Н., Воротилов К.А., Васильев В.А., Бокарев В.П., Кругликов С.С., Тураев Д.Ю.
- #10411.1006800.11.049