–
Тезисы докладов
-
- 1994 Распыление многокомпо-нентных мишеней в DC и RF системах
- Орликовский А.А., Облезин К.В., Васильев А.Г., Кононов М.И., Двинин С.А.
- в сборнике Тезисы докладов: Материалы Российской Конференции с участием зарубежных ученых “Микроэлектроника-94”, место издания Звенигород, тезисы, с. 255-256