–
Доклады на научных конференциях
-
- 2017 ОПРЕДЕЛЕНИЕ СТРУКТУРНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛЕНОК ДИОКСИДА КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ЛРСМА В ПРИСУТСТВИИ ТОКОПРОВОДЯЩЕГО ПОКРЫТИЯ ИЗ ВОЛЬФРАМА (Устный)
- Авторы: Соколов С.А., Сидоров Л.Н., Кельм Е.А., Милованов Р.А.
- Международная научно-техническая конференция "Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения" (Intermatic-2017), Москва, Россия, 20-24 ноября 2017
-
- 2016 Non-destructive determination of thickness of the dielectric layers using EDX (Устный)
- Авторы: Sokolov S., Kelm E., Milovanov R.
- ICMNE-2016, пансионат Ершово, Звенигород, МО, Россия, 3-6 октября 2016
-
- 2016 A resistless electron beam litography, based on charge accumulation in dielectric films (Стендовый)
- Авторы: Kelm E., Zubov D., Kazmishchev S., Milovanov R., Sokolov S.
- ICMNE-2016, пансионат Ершово, Звенигород, МО, Россия, 3-6 октября 2016