–
Статьи в сборниках
-
- 2009 Спектральная методика расчета и коррекции изображений бинарных масок в фотолитографии
- Поройкова А.А., Рыжикова Ю.В.
- в сборнике Труды VI Международной конференции молодых ученых и специалистов «Оптика-2009», место издания СПб: СпбГУ ИТМО Санкт-Петербург, с. 213-216
Тезисы докладов
-
- 2010 Оптимизация масок в фотолитографии с двухстадийным экспонированием
- Белокопытов Г.В., Боголюбов А.Н., Поройкова А.А.
- в сборнике Тезисы доклада на Международном оптическом конгрессе “Оптика – XXI век”. Санкт-Петербург, 2010, место издания Санкт-Петербург, тезисы, с. 300-302