Ключевые слова: Нанотехнологии; наноматериалы и структуры / Nanotechnology; nanomaterials and structures
поверхность, поверхностные явления, нанотехнологии, наноматериалы, устройства нано- и микроэлектроники
surface, surface phenomena, nanotechnologies, nanomaterials, nano- and microelectronics devices