–
Доклады на научных конференциях
-
- 2020 Maskless holographic schemes based on phase micromirror SLMs (Стендовый)
- Авторы: Черник В.В., Борисов М.В., Челюбеев Д.А., Меркушов Л.Ю., Раховский В.И., Шамаев А.С.
- Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020, San Jose, California, США, 23-27 февраля 2020
-
- 2020 Experimental verification of sub-wavelength holographic lithigraphy (SWHL) concept (Стендовый)
- Авторы: Черник В.В., Борисов М.В., Челюбеев Д.А., Меркушов Л.Ю., Раховский В.И., Шамаев А.С.
- Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020, San Jose, California, США, 23-27 февраля 2020
-
- 2020 Mathematical problems of holographic mask synthesis (Стендовый)
- Авторы: Шамаев А.С., Черник В.В., Челюбеев Д.А., Борисов М.В., Раховский В.И., Меркушов Л.Ю.
- Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020, San Jose, California, США, 23-27 февраля 2020